真空泵油选型，直接决定系统极限真空度、腔体洁净度与腐蚀工况适配能力。常规矿物油、普通合成油难以满足超高真空、强腐蚀气体、零污染精密工况，存在蒸气压偏高、介质侵蚀变质、高温积碳污染等问题，Fomblin® PFPE 全氟聚醚惰性润滑流体可针对性解决各类真空应用痛点。
一、产品基础概况
分子构成：仅碳、氟、氧三类元素，六氟丙烯光聚合制成
核心特质：超低蒸气压、化学惰性、不可燃、耐高温，适配全品类真空设备
全系产品矩阵
| 系列 |
常用型号 |
应用定位 |
| Y LVAC |
06/6、14/6、16/6、25/6 |
通用基础型真空泵油 |
| Y LVAC RP |
06/6RP、14/6RP、25/6E |
防锈抗磨增强款 |
| Y HVAC |
140/13 |
高真空扩散泵专用液 |
适配设备：旋片泵、涡轮分子泵、罗茨泵、扩散泵，覆盖真空系统全流程润滑密封。
二、核心技术优势
-
极低蒸气压
核心真空性能指标，25℃下 25/6 型号蒸气压仅\(6×10^{-8}\ \text{torr}\)，高温下挥发量依旧极低，有效杜绝油品返流，避免腔体污染，适配半导体、精密检测场景。
-
超强化学惰性
可稳定接触六氟化铀、氟气、三氯化硼等强腐蚀活性气体，不会氧化降解、失效变质，远超普通油品耐腐蚀能力。
-
本质安全不可燃
无闪点、燃点，富氧、高温工况无起火爆炸风险，工况安全性大幅提升。
-
高温热稳定
常规工况 280℃以内不分解；超温区间存在分解风险，合规使用性能稳定可靠。
-
抗辐射稳定性
受电离辐射、粒子冲击不会聚合结垢，无沉积物产生，契合加速器、离子注入设备使用要求。
-
广泛材质兼容
与各类金属、塑胶、橡胶密封件适配，不会造成密封溶胀、部件腐蚀损坏。
三、环保安全属性
- 臭氧层消耗指数 ODP=0，无大气破坏风险
- 介质无毒，合规环保标准
- 常态无有害分解物，不可燃规避火灾隐患
- 使用寿命长久，减少废油更换与废弃物排放
四、各系列产品参数与功能
1. Y LVAC 通用基础系列
| 型号 |
20℃运动粘度 (cSt) |
25℃蒸气压 (torr) |
倾点 (℃) |
适用场景 |
| 06/6 |
64 |
\(8×10^{-7}\) |
-50 |
分子泵高速轴承润滑 |
| 14/6 |
148 |
\(1×10^{-7}\) |
-45 |
中小型旋片泵通用 |
| 16/6 |
168 |
\(9×10^{-8}\) |
-45 |
中高真空常规工况 |
| 25/6 |
276 |
\(6×10^{-8}\) |
-35 |
重载旋片泵密封润滑 |
2. Y LVAC RP 防锈抗磨系列
基础油品增设专用添加剂，潮湿水汽工况防锈能力大幅提升，盐雾测试 24 小时无锈蚀；抗磨性能提升 13%，且不改变原有蒸气压、粘温特性，真空性能无损耗，适配高湿度抽气环境。
3. Y HVAC 140/13 扩散泵专用液
粘度 1508cSt，分子量 6600amu，分子量分布均匀，极限真空表现优异；接触氧气、活性气体不聚合结垢，长期使用腔体洁净无杂质。
五、主流应用场景匹配
| 应用领域 |
推荐型号 |
应用价值 |
| 电镜检测设备 |
Y HVAC |
杜绝返流污染，保护检测样品 |
| 质谱分析仪器 |
Y HVAC |
降低背景干扰，保障检测精准度 |
| 粒子加速器 |
Y HVAC |
抗辐射积垢，设备长效稳定运行 |
| 半导体离子注入 |
Y HVAC+Y LVAC |
全链路洁净真空工况 |
| 等离子体、气相沉积 |
Y HVAC |
无杂质污染镀膜腔体 |
| 强腐蚀气体处理 |
Y HVAC+Y LVAC |
耐介质侵蚀，油品不易失效 |
| 潮湿工况旋片泵 |
Y LVAC RP |
防锈减磨，延长设备使用寿命 |
六、实用选型指南
- 干燥环境常规旋片泵：Y LVAC 14/6、25/6
- 涡轮分子泵轴承：Y LVAC 06/6
- 含水汽潮湿工况泵体：06/6RP、25/6E
- 超高真空扩散泵：Y HVAC 140/13
- 强腐蚀性气体处理：前后级整套 PFPE 油品搭配
- 矿物油替换：使用 Galden® SV55 溶剂三次彻底清洗烘干，两类油品互不兼容。
