- 详细介绍
电子氟化液 (Electronic Fluorinated Liquid)： 在这里特指用于半导体制造过程中干法刻蚀 (Dry Etching) 和 腔体清洗 (Chamber Cleaning) 环节的精密氟化化学品。它们通常具有极高的纯度、稳定的化学性质、优异的绝缘性和热传导性。
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电子氟化液 (Electronic Fluorinated Liquid)： 在这里特指用于半导体制造过程中干法刻蚀 (Dry Etching) 和 腔体清洗 (Chamber Cleaning) 环节的精密氟化化学品。它们通常具有极高的纯度、稳定的化学性质、优异的绝缘性和热传导性。